晶元是科技界的瑰寶,其重要性不言而喻。 經過幾十年的發展,我們成熟的工藝晶元已經取得了長足的進步,所以不用擔心。 然而,高階工藝晶元的發展仍需不斷努力。 為什麼?其中乙個關鍵因素是光刻機。 作為晶元製造過程中不可缺少的核心裝置,它在晶元生產中起著至關重要的作用。
但是,上海微電子的光刻機製造水平有待提高。 目前,我們主要依賴進口。 全球光刻機市場由荷蘭ASML主導,這種情況一直持續到今天。 然而,最近情況發生了變化。 尼康和佳能宣布,光刻機市場的格局正在發生變化!
自半導體行業出現以來,光刻機行業經歷了許多變化。 當時,領先的光刻機巨頭是一家美國公司,但後來被日本的“光刻機二人組”尼康和佳能超越,成為新的光刻機巨頭。 隨後,ASML憑藉浸沒式光刻技術一舉成名,成為光刻機領域的霸主。
雖然美國公司已經退出光刻機領域,但他們從未放棄干涉。 在美國公司被日本的尼康和佳能超越後,美國打算支援ASML,並將日本公司排除在EUV技術之外。 現在,光刻機市場的變化已經進入了乙個新的階段,我們可以拭目以待。 當英特爾領導建立EUV技術組織時,ASML和尼康都渴望加入該組織,分享這項先進技術。 然而,美國駁回了尼康的申請,並讓ASML獨家使用該技術。 這種做法導致日本光刻機企業倒閉,與ASML的差距越來越大。
然而,這也讓ASML長期被美方束縛。 雖然已經承諾在美國建立研發中心和工廠,但每年都會接受美國的檢查,並且一定比例的裝置會從美國公司進口,因此ASML的光刻機出貨量受到美國的限制。
正是出於這個原因,2024年,中芯國際向ASML訂購了一台EUV光刻機,美方成功阻止了它的到來。 今天,美方甚至開始限制ASML的浸入式DUV。
當然,ASML對此非常不滿。 畢竟,這是金錢和時間的巨大損失。 儘管ASML擁有美國EUV技術的獨家使用權,但ASML繼續在研發方面投入巨資,最終將該技術轉變為可量產的光刻機。 近年來,全球晶圓廠的擴張速度有所放緩,但中國大陸市場一直在穩步擴張。 ASML對此絕不能掉以輕心,畢竟內地市場對他們來說是不可或缺的一塊蛋糕。 即使面對美國不斷公升級的出口管制,即使美國、日本和荷蘭已經達成合作協議,荷蘭也明確表示將實施出口管制,ASML仍在努力向中國銷售產品,第三季度來自大陸的收入已達到46%。 為什麼ASML如此努力?一方面,中國大陸一直在努力攻克高階光刻機的技術瓶頸,而華為麒麟晶元的回歸,意味著大陸晶元產業鏈有了新的突破,或許上海微電子取得了顯著的科研成果。 另一方面,ASML的競爭對手尼康和佳能也不甘落後,也在爭先恐後地搶占大陸市場。 第乙個是佳能。
100支援計畫 雖然佳能一直以生產低端光刻機為主,雖然出貨量大,但總量相對較小。 然而,佳能並沒有放棄超越ASML的追求,而是走上了另一條道路——開發NIL奈米壓印技術。 這是一種很有前途的新型光刻技術,有別於ASML的傳統光刻技術。 冷靜的大象佳能終於邁出了決定性的一步,他們成功推出了一款採用NIL技術的光刻裝置,引起了全球軒然。
這款器件的製造工藝已經達到了令人印象深刻的5nm,下乙個目標是讓同行驚嘆不已,那就是2nm,目標就是ASML的EUV光刻機!而尼康則選擇了一條獨特的道路,依然堅持走傳統光刻技術的道路,並堅持不懈地向前邁進。
他們在這個領域輸給了ASML,但他們並沒有氣餒,而是專注於浸沒式光刻。 最近,他們在這方面也取得了突破,開始向外界銷售浸沒式DUV光刻機。 雖然目前的出貨量不算太大,但他們並沒有放棄,而是投資了更大規模的工廠建設,旨在進一步開拓中國大陸市場。 而現在,尼康再次發起攻勢,推出了更先進的ARF浸沒式光刻機,準備與ASML競爭!
尼康一直看著ASML在大陸市場賺得盆滿缽滿,而由於日本的出口管制,它卻陷入了業績低迷。 這種情況讓他們非常不滿。 於是,他們也開始尋找機會向中國出口光刻機,希望在中國市場找到更多的發展空間。 這種精神值得我們深思。 日本佳能和尼康兩大巨頭看到了大陸市場日益增長的需求,果斷行動。 這場光刻機爭奪戰引起了軒然,甚至有外媒預測:“光刻機逆襲加速!“但是,我們必須有乙個清醒的認識,只要我們跨過國產光刻機的門檻,我們就可以徹底打破難題!