新型顯示行業應用分析

目前，顯示技術的主流應用是：LCD 和 OLED在海澤定律的推動下（即在給定波長的光下，每流明成本每十年降低10倍，每個LED元件發出的光量每十年增加20倍），柔性電子、mini micro LED等新型顯示技術的市場規模將在中長期內快速增長。

水蒸氣透過率（WVTR）是衡量薄膜耐水性和耐氧性的重要指標，因為顯示器件在被水和氧氣滲透後非常容易老化變性，導致器件的亮度和使用壽命明顯衰減，因此需要使用防水和氧氣阻隔材料進行包裝保護， 其中可彎曲的柔性OLED顯示屏對水蒸氣更敏感，其WVTR指數需要達到10-4G MD以下。

其他新型顯示技術的WVTR也需要至少小於10-3G MD，以確保在惡劣環境下的可靠性。 考慮到新型顯示技術對封裝保護的更高要求，ALD薄膜層具有密度高，無針孔，保形性好，絕緣性好，耐水、耐氧柔性OLED等新型顯示技術開始使用ALD鍍膜來保證其穩定性。

早期LED加工技術對精度的要求無法與積體電路相提並論，對防水蒸汽和抗氧化性也不如OLED嚴格，但隨著晶元尺寸不斷縮小的趨勢和高功率密度晶元級封裝CSP的興起，ALD技術的優勢逐漸體現出來，進入了新型顯示行業的視線， ALD技術的市場需求將進一步擴大。