靶材是製備薄膜的主要材料之一，由“靶坯”和“背板”焊接而成。
靶坯是高速離子束轟擊的靶材，屬於濺射靶材的核心部分，涉及高純金屬和晶粒取向的調控。 在濺射鍍膜過程中，靶坯被離子撞擊後，其表面原子被濺射散射並沉積在襯底上，形成電子膜。
背板主要起到固定濺射靶的作用，涉及焊接工藝。 根據材料分類，靶材可分為常規金屬靶材、**靶材、稀土金屬靶材、非金屬靶材、合金濺射靶材、陶瓷濺射靶材等。 根據外形尺寸，靶材可分為圓柱形、矩形、方板式靶材和管狀靶材。 在製備過程中，除了嚴格控制成分和尺寸外，還應嚴格控制材料的純度、熱處理條件和成型加工方法。 目標的製備方法主要有熔煉法和粉末冶金法。
金屬靶子。 銅 （Cu）：憑藉其優異的導電性和導熱性，銅靶材在電子工業中用於製造高導電薄膜，常見於積體電路和半導體器件中。
鋁 （AL）：鋁靶材由於重量輕、反射率高，廣泛用於製造反光膜和裝飾塗料。
合金靶材。 不鏽鋼合金：結合多種金屬元素，提供優良的耐腐蝕性和機械穩定性，常用於製備耐腐蝕和結構膜。
鎳鉻合金（NICR）：這種合金靶材在電阻膜的製造中占有一席之地，並因其高溫穩定性和均勻的電阻率而受到青睞。
半導體靶材。
半導體矽（Si）：矽靶材作為最常見的半導體材料之一，廣泛應用於微電子和光伏領域。
鍺 （GE）：憑藉其獨特的半導體特性，鍺靶材在紅外光學和太陽能電池中發揮著重要作用。
陶瓷靶材。 氧化鋁（Al2O3）：這種陶瓷靶材由於其高熔點和優異的電絕緣性，常用於製造耐高溫和電絕緣薄膜。
氮化矽（Si3N4）：優異的機械強度和耐熱性，適用於製造硬質塗層和保護膜。
稀土靶材。 鑭（LA）：鑭及其合金在催化劑、照明和顯示技術中具有重要應用。
鈰 （CE）：鈰靶材因其獨特的化學性質而廣泛用於玻璃和陶瓷塗層。
金屬靶子。 銅靶材在積體電路製造中的應用：
銅靶材由於其優異的導電性，被廣泛用於微型積體電路中導電路徑的製造。 銅電路由於其低電阻和高可靠性，在提高電路效能方面發揮著至關重要的作用。
鋁靶材在光學薄膜中的應用：
鋁靶材用於製造鏡子和裝飾塗層。 鋁的高反射率使它成為現實。
非常適合製造鏡子、望遠鏡和其他光學裝置。 在太陽能工業中，鋁膜也用於提高太陽能電池板的光反射效率。
合金靶材。 不鏽鋼合金在製備耐腐蝕塗層中的應用：
不鏽鋼合金靶材用於製造具有優異耐腐蝕性的薄膜，廣泛應用於海洋工程、化工裝置等領域，以保護基材免受腐蝕。
鎳鉻合金在電阻薄膜中的應用：
由於其高溫穩定性和均勻的電阻率，鎳鉻合金靶材在電阻膜和加熱元件的製造中發揮著重要作用，廣泛應用於電子裝置和加熱系統。
半導體靶材。
矽靶材在微電子中的應用：
矽靶材是製造半導體器件的核心材料，半導體器件用於生產各種微處理器、儲存晶元和感測器。 矽基薄膜的高效能和可靠性對微電子工業的發展至關重要。
鍺靶材在紅外光學和太陽能領域的應用：
鍺靶材用於製造紅外光學器件，例如紅外攝像機和夜視裝置。 同時，鍺獨特的吸光特性使其具有製造高效太陽能電池的潛力。
陶瓷靶材。 氧化鋁靶材在製備高溫耐磨塗料中的應用：
氧化鋁靶材用於製造耐高溫耐磨薄膜，廣泛應用於航空發動機和切削工具的表面處理，提高材料的耐久性和效能。
氮化矽靶材在硬質塗層中的應用：
氮化矽靶材用於製造高硬度和耐磨塗層，廣泛用於機械加工和電子裝置製造，增強基材的耐磨性和耐高溫性。
稀土靶材。 催化劑和照明技術中的鑭靶材：
鑭及其合金在化學反應和環境治理中作為催化劑發揮著重要作用。 此外，鑭還用於製造照明裝置，如螢光燈，以提高光效和色彩表現。
鈰靶材在玻璃和陶瓷塗料中的應用：
由於其特殊的化學性質，鈰靶材被用於玻璃和陶瓷工業中製造特殊塗層，以提高材料的光學效能和耐化學性。
純度。 高純度的重要性：純度是影響目標材料效能的首要因素。 高純度靶材可以顯著減少雜質，避免成膜生長過程中的缺陷，保證最終成膜的均勻性和效能。
純度檢測方法：利用質譜、原子吸收光譜等先進的光譜技術，可以準確測定目標材料的純度。
硬度。 硬度對靶材的影響：硬度決定了靶材在加工和使用過程中的耐磨性。 對於一些需要長時間穩定噴射的應用，例如磁控濺射，需要高硬度的靶材。
硬度測試方法：通過維氏硬度測試或洛氏硬度測試等方法可以準確評估目標材料的硬度。
熔點。 熔點在靶材選擇中的作用：靶材在使用過程中的熔點應高於最高工作溫度，以保證其在高溫下的穩定性和耐久性。
熔點與應用領域的關係：在一些高溫應用中，如等離子噴塗，選擇高熔點的目標材料尤為重要。
導熱。 導熱性的重要性：良好的導熱性保證了目標材料在使用過程中的有效散熱，防止材料因溫度過高而退化或損壞。
導熱係數評估：通過熱擴散率測試或導熱係數測試，可以準確評估目標材料的導熱係數。
特殊要求。 行業特定材料要求：不同的應用領域對靶材有不同的要求。 例如，在半導體製造中，除了高純度外，還要求靶材具有非常低的雜質含量;在光伏行業中，人們更加關注目標材料的光電轉換效率。
定製解決方案：對於特定應用，靶材的選擇可能需要定製的解決方案，以滿足獨特的效能要求。