DBSL 20T壓力感測器的原理和應用領域

Mondo 汽車 更新 2024-01-28

感測器是將各種非電量(如物理量、化學量、生物量等)轉換為另一種便於按照一定規則進行處理和傳輸的物理訊號的裝置,一般是電。 感測器通常由三個元件組成:感測元件、轉換元件和測量電路,有時需要額外的輔助電源。

半導體壓力感測器的製造是基於矽晶體的壓阻效應原理。 當單晶矽材料受到應力時,其電阻率會發生顯著變化,這種現象稱為壓阻效應。

壓力感測器使用具有壓阻效應的元件材料,例如單晶矽、擴散摻雜矽和多晶矽。 當晶體不受定向應力作用時,其電導率是各向同性的;各向異性僅在受到定向應力時表現出來。 當應力引起能帶的變化和能谷能量的轉移時,它會導致電阻率的變化,進而產生壓阻效應。 單晶矽效應包括n型和p型矽壓阻效應。 選擇擴散矽的目的是在設計和製造壓力感測器時,根據矽擴散層壓在不同溫度下的壓阻特性,選擇合適的擴散條件,使壓力感測器具有良好的效能。 多晶矽在感測器中有著廣泛的應用,可作為微觀結構和填充材料、敏感材料。

根據應用的不同,壓力感測器可分為壓力監測、壓力測量和壓力控制以及轉換為其他物理量的測量。 根據供電方式的不同,壓力感測器可分為壓阻式和壓電式感測器。 前者為無源供電,需要外接電源;在後者中,感測器本身產生電荷,不需要外部電源。 根據不同領域對壓力測量精度的不同要求,壓力感測器可分為低精度型和高精度型。

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