蔡司SEM電子顯微鏡EVO MA 15用於材料領域，LS 15用於生命科學領域。 該系列電磁鏡具有具有多個介面的大型樣品室和最先進的物鏡設計，提供高真空和低真空成像功能，分析各種材料表面和 X 射線分析技術。
蔡司掃瞄電子顯微鏡（SEM）廣泛應用於金屬材料（鋼鐵、冶金、有色金屬、機械加工）和非金屬材料（化學、化工、石油、地質礦物、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維）的檢測和研究。 在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化工材料等領域，材料的顯微形貌、結構和成分分析，各種材料的形貌和結構觀察，材料的斷裂分析和失效分析，材料的實時微觀成分分析，元素的定量和定性成分分析，快速多元素表面掃瞄和線掃瞄分布測量，晶體和晶粒的物相識別，晶粒尺寸和形狀的分析，以及晶體和晶粒取向的測量。
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蔡司SEM電子顯微鏡技術引數
1.解像度：20nm@30kv(se with lab6 option) 3.0nm@30kv(se and w) 4.5nm@30kv(vp with bsd)
2.加速電壓：02—30kv
3.放大倍率：5-1000000x
4.視場角：6mm
5、X射線引數：85mm WD，35度接收角度。
6、壓力範圍：10-400PA（LS15：10-3000PA）。
7.演播室：365mm（）275mm（h）。
軸優化自動取樣臺：x=125mm，y=125mm，z=50mm，t=0-90°r=360°
9、試樣高度：145mm，試樣直徑：250mm
10.系統控制：基於Windows XP的SmartSEM
掃瞄電子顯微鏡