晶元製造工藝揭曉!不得不說,做薯片也是一門藝術!

Mondo 科技 更新 2024-01-29

大家好,我是張主任,說的是製造,今天就給大家揭開晶元製造的過程,這是一門真正的藝術!

事不宜遲,我們來看看晶元製造的主要步驟

1.n個底物的形成。

首先,需要對高純矽片進行第一次摻雜,才能形成n個襯底。 這一步就像是晶元的基石,為後續的生產奠定了基礎。

2 熱氧化。

接下來,我們需要對矽片進行熱氧化,形成天然二氧化矽層。 該氧化層在MOS製造中充當柵極絕緣層,並充當器件之間的隔離層。 熱氧化需要在高溫下進行,以確保氧化層的厚度滿足半導體器件的要求。

3個面膜。

二氧化矽的氧化層形成後,我們應用光刻膠進行掩蔽。 這一步非常重要,因為它決定了晶元的最小製造。 光刻膠的應用使我們能夠在後續步驟中進行精確的蝕刻。

4 光刻。

接下來,使用掩模對光刻膠塗層的矽晶片進行光刻。 掩模由玻璃和紫外線吸收材料製成,當暴露在紫外線下時,光刻膠會形成聚合物,然後根據光刻膠的形狀進行蝕刻。

5 發展中。

光刻後,使用顯影劑去除暴露在紫外線下的光刻膠,留下未被照亮的部分。 這一步稱為顯影,它使晶元的圖案清晰可見。

6 蝕刻。

顯影後,進行等離子蝕刻。 等離子體蝕刻掉不受光刻膠保護的二氧化矽部分,形成所需的器件結構。 這一步保證了晶元的精確製造。

7 擴散。

蝕刻或離子注入後,發生擴散。 通過在視窗處摻雜雜質,形成PN結。 擴散需要在高溫下進行,以確保雜質原子以濃度梯度擴散到矽片中,並最終固定在矽材料中。

8 金屬化。

擴散後,需要將已經形成的元件金屬化以形成實際電路。 首先去除光刻膠,然後進行氣相沉積,從而形成一層薄金屬膜。 然後再次塗上光刻膠,並戴上掩模以形成鋁觸點,這些金屬膜是電路的導線。

9 粘接。

電路製作完成後,需要將封裝上的晶元引腳連線到製造的矽片上。 一般採用金線或銅線進行鍵合,以保證訊號傳輸暢通無阻。

封裝。 最後,將裸矽晶圓封裝在外殼中,保護晶元並進行最終測試和驗證。 這樣,晶元的製造過程就基本完成了!

不得不說,製作薯片是一門藝術!這些步驟的精確操作和技術要求讓我們對晶元的製造過程充滿敬意。 如果您對此話題感興趣,請在評論區留言,讓我們**!

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