ASML承諾不負眾望! 2024年DUV光刻機將不缺!
我們知道 2024 年才剛剛開始,ASML 已經宣布取消 NXT2050i 和 NXT 2100 I 光刻機的許可證。
因此,很多人認為中國大陸沒有兩台光刻機。
難怪美國於 2019 年開始對中國實施禁運,禁止 EUV 光刻,並於 2023 年禁止深紫外光刻。
據業內專家介紹,以193奈米為光源的浸沒式光刻,由於水的折射,光源波長可達134奈米,這使得通過**等多種工藝生產7奈米和5奈米晶元成為可能。
目前,國內所有的光刻機都採用90nm工藝,而我們的技術已經達到了7nm以上,所以DUV光刻機是必不可少的。
但即使 ASML 在 2023 年有所改善,我們也不會在 2024 年之前出現晶元短缺。
其中之一是現已撤銷的許可證,該許可證原定於 2023 年 9 月 1 日撤銷,但由於 ASML 與不同個人之間的協調而被推遲了四分之一年。
其次,這次只有兩個型號 - NXT:2050 I和NXT:2000 I和NXT:1980 DI被取消。
從**可以看出,這四台光刻機的解像度相同,但產能卻相差甚遠,低至7奈米,高至5奈米。
第三,ASML非常誠懇,積極配合中國大陸使用者,爭取在禁令實施前"搶"到光刻機。
2022年,中國從ASML購買了約100臺光刻系統,總價值為21億歐元。
今年1月至11月,中國從ASML購買了200多台光刻機,總價值為500億元,是去年的三倍。
ASML還表示,它將在2023年之前向中國客戶供貨,這表明ASML已將其大部分光刻產能轉移給中國客戶。
畢竟光刻機是世界上稀缺的商品,各大代工廠都在爭先恐後地搶購,在這種情況下,ASML對中國來說可能並不容易大規模生產。
因此,在ASML的努力下,到2024年,我們都不會出現DUV光刻機的短缺,而且我們已經購買了一些高階裝置,低端裝置將持續很多年。
更重要的是,考慮到晶元的發展,"工藝"不可能一直這樣做; 28 nm 後,線寬將停止增加,5 nm 以下的最小線寬不是 5 nm,而是通過結構和工藝改進實現的"與5nm相同的能效"。
如果我們改進設計、結構和封裝,我們將能夠使用深紫外光刻技術生產出與3nm工藝相媲美的晶元,從長遠來看,我們不必急於求成。
此外,隨著技術的進步,光刻不再是唯一的方法,奈米印刷、電子束光刻和數字減法都達到了新的水平,因此中國可能不得不因為這一禁令而改變其戰略。