目前市面上一般的空間殺菌方法主要有臭氧微醉殺菌、紫外線輻射殺菌、甲醛殺菌和新興的雙氧水殺菌，上述殺菌方法用於各種場合，但傳統的殺菌方法在實際應用中存在致命的缺點。
為了解決傳統殺菌方式面臨的難題：殺菌效果差、對裝置的腐蝕性大、對人體的危害大等弊端，雙氧水空間殺菌系列裝置應運而生。
首先，過氧化氫（H2O2）是一種天然存在的化學物質，廣泛存在於空氣和水中。 早在18世紀，過氧化氫就被人類發現和使用，並廣泛應用於食品、飲料、醫療器械和醫療保健領域。 過氧化氫的使用主要取決於其氧化程度，不同濃度的過氧化氫有不同的用途。 一般醫用雙氧水（俗稱雙氧水）的濃度為3%，主要用於傷口或中耳炎介質的消毒。 如果出現傷口，口腔，粘膜的膿液或汙垢，則立即分解成氧氣，氧氣不與氧分子結合，具有很強的氧化能力。 當它與細菌接觸時，它會破壞它們並殺死它們。 殺死細菌後剩下的是水和氧氣，無毒無刺激性。 不會有二次汙染和耐藥性。 因此，醫用過氧化氫是一種理想的傷口消毒劑。
工業雙氧水的濃度一般為25-50%。 高濃度的過氧化氫具有很強的腐蝕性和危險性。 如果濃度超過8%，則需要用專用容器包裝運輸。 液態過氧化氫消毒需要高濃度和長時間接觸，以殺死細菌孢子和真菌等高耐藥性微生物。 例如，當利潔時公司生產 75%雙氧水消毒劑經FDA批准用於表面高階滅菌，需要20小時浸泡滅菌時間為6小時。
為了充分發揮雙氧水消毒殺菌（無耐藥性和殘留）的優點，克服其高濃度腐蝕性、低濃度、低效率等缺點，國內外研究人員對其進行了研究。 上世紀80年代，美國研究人員首次發現，氣態過氧化氫的殺菌力是液態過氧化氫的200倍以上。 也就是說，雙氧水只需要在氣相中濃度較低，就可以達到高濃度液態雙氧水的殺孢子能力，因此出現了兩種不同的雙氧水氣體消毒殺菌技術：氣化雙氧水殺菌技術和雙氧水“幹霧”殺菌技術。
氣化過氧化氫殺菌技術大多採用閃蒸技術，將高濃度的雙氧水溶液（一般在30%以上）滴在加熱光滑的金屬物體表面，瞬間汽化成2-6微公尺的顆粒。 下表顯示了VHP滅菌系統的技術優勢：
還有一種雙氧水殺菌裝置為幹霧雙氧水殺菌裝置，由於閃蒸技術研製的氣化過氧化氫殺菌裝置對過氧化氫濃度要求高，腐蝕性強且價格昂貴，其應用範圍僅限於轉運艙等小型防腐密閉空間的消毒殺菌， 隔離器、凍乾機、生物安全櫃、醫療裝置、生物培養箱和氣閘。不適用於GMP潔淨車間、醫院手術室等大空間的消毒滅菌。 隨著霧化技術的發展，已經有可能將消毒劑溶液霧化成小於10公尺的小顆粒，即所謂的幹霧技術。
由於這些小顆粒在空氣中不規則地運動（布朗運動原理），它們不會沉降，也不會聚集在一起產生大液滴，它們在接觸物體表面後會**並且不會分解使表面變濕。 因此，幹霧的這些特性使其具有高度的擴散性，並且在消毒時不會留下死角; 沒有潮濕的表面; 裝置、彩鋼板、牆體無腐蝕。 結果表明，霧化顆粒越小，在空氣中的懸浮時間越長，它們與空氣中的細菌充分接觸的機會就越多，從而達到消毒殺菌的目的。
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