工業紫外相機是一種特殊型別的相機,可捕獲紫外線並將其轉換為可見光。 其原理主要是基於紫外光和可見光的不同波長,以及不同物質對紫外光的吸收和反射特性。 UV工業相機可以有效地識別和檢測產品缺陷,提高產品質量,提高效率,降低成本。 可用於半導體檢測、材料表面檢測、顯微鏡檢測、玻璃缺陷檢測、珠寶缺陷檢測等。
讓我們來看看半導體的兩個應用:
裸晶圓檢測。
半導體製造的原材料是單晶矽,即所謂的裸晶圓或襯底晶圓。 在檢查時,只有少數汙染物或缺陷。
微公尺尺寸。 紫外光的波長較短,在識別晶圓上的表面缺陷方面最準確。 用紫外光源照射裸晶圓,並用紫外、可見光和短波紅外相機同時捕獲晶圓表面的高解像度影象。 然後,使用先進的影象處理演算法進行影象分析,可以對各種缺陷進行識別和分類。 UV相機可以檢測到幾種型別的缺陷。 這些包括在製造過程中意外從環境中引入的顆粒物(如灰塵)或因處理不當而造成的劃痕。
圖案圓形檢測。
圖案圓的檢測涉及識別和分析圖案光刻過程中可能發生在圖案表面的缺陷或錯誤,例如晶圓片。
表面圖案的缺陷、錯位和缺失特徵等問題。 在檢查過程中,用紫外線照射晶圓,晶圓表面和周圍材料上的圖案會不同程度地反射或吸收紫外線。 然後,紫外線相機捕獲針孔表面的影象並執行影象分析,以確定反射或吸收的紫外線的差異。
為了保證電子裝置的完美執行,要求裝置的內部驅動元件微晶元在生產後必須具有極高的質量標準和可靠性。 其中許多製造工藝都使用紫外光源,這需要在製造過程的所有階段使用紫外敏感相機進行質量檢測。 紫外相機在確保半導體元件的質量和可靠性方面發揮著至關重要的作用,因為它們能夠檢測其他成像技術難以識別的缺陷和異常。
隨著電子行業的發展,半導體製造行業對高品質UV相機的需求無疑將持續增長。 通過利用紫外相機的優勢,半導體製造商可以確保其產品的質量和可靠性達到最高標準,同時最大限度地降低成本。
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