ASML確認低端DUV光刻機的出口有限。
ASML確認：低端DUV光刻機出口限制！
2024年初，ASML表示取消了兩台NXT：2050i和NXT：2100 i光刻機的生產許可證，這對一些中國使用者造成了沉重打擊。
當時，許多人聲稱ASML目前正在銷售幾台深紫外浸沒式光刻機，只有後兩台數量較少，而NXT：2000 I和1980 DI仍在銷售。
這四種光刻技術的解像度不相上下，都可以達到7nm甚至5nm以上，唯一的區別就是效能，這絕對是放心的。
然而，不久前，ASML正式確認NXT2050i和NXT：2100 I這兩款具有深紫外線螢幕的低成本裝置將受到限制。
根據 ASML 的說法，"一家中國先進晶圓製造商無法獲得運輸 DUV 浸漬的 NXT 1970 I 和 NXT：1980 DI 裝置的許可證。
如您所知，這裡所說的"個別工廠"指在中國的美國公司"統一列表"。
在 2023 年 10 月之前，美國頒布的最新限制實際上要求光刻率高於上一年。
2022年10月，美國規定，如果光刻機使用解像度小於193奈米且解像度小於45奈米，則DCO光刻定位精度小於15奈米，它不能生產，但超出這個範圍的光刻機可以。
2023 年 10 月，該法規再次修訂，增加了新標準：DCO 小於 193 nm 和小於 2禁止出口4nm光纖錨固器件，嚴格控制DCO含量。
而 NXT：1970 I NXT：1980 Di 的波長為 193 nm，解像度為 38 nm，DCO 值為 16 nm，1 以上5 nm 但低於 2 nm4 nm。
在 2022 年 10 月禁令之後，該產品被允許出口。 但在 2023 年 10 月禁令之後，該產品無法出口。
因此，ASML宣布將無法將NXT產品出口到中國的各個鑄造廠：在20世紀的70年代和80年代。
根據這一規定，"單一中國製造商"有義務從ASML購買NXT：1965 CI光刻裝置，條件是ASML無法將裝置改造為滿足中國市場的需求，並且必須在2013年完成首批交付。
但別擔心，中國公司已經從ASML購買了價值500億元人民幣的光刻機，足以維持幾年。 就算現在買不到，未來幾年光刻機也不會缺，關鍵是國產光刻機有沒有突破。