石英坩堝在熔化和拉晶過程中有時會發生破裂,破裂的原因如下。
1.熔化方法不當。
1)二次結晶。
當上層矽材料熔化後順石英坩堝內壁流向底部時,由於底部溫度低,常發生“二次”結晶,矽材料在“二次”結晶過程中膨脹,使石英坩堝膨脹開裂。
2)翻底後漏矽。
當上部熔融矽液順鍋壁流到坩堝底部時,底塊與石英坩堝粘附在一起,當上部矽材料完全熔化成液體時,在塊底形成浮力,當浮力大到足以將未熔化的塊與粘附在其上的石英坩堝底部分離時, 坩堝經常會被打破。
2.熔體溫度不合適
熔體溫度過高會加劇坩堝結晶程度,增加破裂的可能性。
3.原材料問題
原料中雜質過多或原料清洗和填充過程中的汙染會對石英坩堝產生侵蝕作用,嚴重時熔融矽會滲透到坩堝內層。
4.石墨坩堝問題
1)新型石墨坩堝的煅燒不夠徹底,無法投入使用,會造成石英坩堝外層結晶嚴重。
2)石墨坩堝由於使用時間長而使其原有厚度氧化和降解,大大變薄。
5.石英坩堝問題
1)石英坩堝用力過猛,底部破損開裂。
2)裝載底料時,大塊矽撞擊石英坩堝底部,造成隱裂紋。
3)坩堝上部裝料過多,熔化過程中物料塌陷時坩堝底部容易破裂,造成漏矽。
4)石英坩堝因外界損傷而開裂,在熔化過程中發生破裂。
6)石英坩堝在生產、包裝、運輸過程中因損壞而造成的隱蔽裂縫。
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2024第二屆安徽國際石英產業大會暨展覽會。
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