公司正式開放雷射應用

Mondo 科技 更新 2024-02-22

2月21日,溧陽晶元全資子公司溧陽微電子正式開業。

溧陽新專案已入選東莞市2023年重大建設專案,近期已順利完成晶圓減薄、拋光、雷射開槽、雷射暗切等一系列工藝的除錯,即將進入量產階段。

在晶圓減薄拋光技術方面,舜宇可提供業界最高標準的超薄晶圓減薄加工技術服務。 採用全自動研磨拋光機,將背磨和應力消除融為一體,可以穩定地進行厚度不超過25公尺的減薄加工。

在雷射開槽技術方面,舜宇採用非接觸式雷射加工去除晶圓切割通道表面的金屬佈線層,支援晶圓的開槽和全切割工藝,雷射開槽寬度在20-120公尺之間連續可調,開槽深度可達26-30公尺,具有良好的幾何形狀和深度穩定性, 並適用於切割通道有多金屬、厚金、低K、鈍化層等情況。雷射開槽工藝技術解決了常規刀片切割引起的異常邊緣碎裂、金屬捲曲和金屬殘留等質量問題,以及前鈍化層破裂,避免了切屑產品的可靠性風險。

舜宇擁有業界領先的無損內雷射隱藏切割技術。 **切割是將雷射聚焦在晶圓內部形成改性層,將晶圓分成晶片(die die)進行晶圓膨脹的切割方法。 該技術可應用於最小20公尺切割通道的晶圓加工(標準切割通道從60公尺減少到20公尺),提高了晶圓晶元面積的利用率,增加了總晶元數量,有望降低晶元成本高達30%。 雷射隱藏式切割技術可以替代傳統金剛石水切割工藝無法解決的許多技術問題。

此外,雷射隱藏式切割是一種乾燥環保工藝,無損內切在加工質量上的優點如下:(1)能抑制加工雜屑的產生,抗結垢,防止切屑前後塌陷和側面塌陷,有效避免對切屑線的損壞; (2)前鈍化層保護更完整,可有效解決汙染、顆粒粘附、PAD氧化等粘接問題,從而保證客戶晶元產品質量穩定和良率,是提高包括特種晶元在內的高可靠性晶元質量的最佳解決方案。

以上文章內容來源於溧陽晶元。 如您涉及作品內容、版權等問題,請於7天內與平台聯絡(郵箱:2900646553@qqcom),我們會盡快處理!

相關問題答案

    雷射之家 就在這時,這個新的雷射工廠基地開始了!

    月日,科貝雷射加工裝備智慧型製造基地專案舉行奠基儀式,標誌著科貝雷射在雷射技術領域發展又邁上了新的一步。科貝二期專案占地畝,投資億元,計畫個月內建成投產,是科貝集團新的經濟增長點。科貝研發的跨時代智慧型製造線 型鋼雷射加工中心,在相關行業掀起了一場顛覆性的革命,是技術領先 市場占有率高的高科技產品。...

    超快雷射技術及其應用

    超快雷射器是雷射器的一種,它是一種具有FS量級脈衝波的雷射器。飛秒 fs 是乙個極短的時間單位,即 s,只有萬億秒,如果用fs作為幾何平均值來測量宇宙,它的壽命只有分鐘。在如此短的時間內,我們可以預期脈衝波必須具有許多有趣的特性,這將有助於我們的科學實驗。雷射,顧名思義,是 激發光 產生它們的物理基...

    光纖雷射器應用分類

    光纖雷射器是指以摻雜稀土元素的玻璃纖維為增益介質的雷射器。這種雷射器可以在光纖放大器的基礎上發展,利用幫浦浦光的作用在光纖中形成高功率密度,從而產生雷射工作物質的雷射能級的 粒子數反轉 當適當新增正反饋迴路 形成諧振器 時,就會形成雷射振盪輸出。光纖雷射器的結構類似於傳統的固體雷射器和氣體雷射器,主...

    雷射退火技術的應用

    雷射退火技術是利用雷射束的能量將材料區域性加熱到一定溫度,然後迅速冷卻,從而調整材料零件的微觀組織和效能的先進熱處理技術。雷射退火技術在材料改性 表面硬化和微納加工等領域有著廣泛的應用。雷射退火技術原理 分析了雷射退火技術的基本原理,以及如何通過控制雷射功率 半徑和掃瞄速度等引數來實現材料的區域性加...

    雷射切割加工的應用範圍

    雷射切割是一種先進的製造工藝,它使用高功率雷射束切割材料。由於其高精度 高速度和高適應性,雷射切割加工已廣泛應用於許多領域。在汽車製造中,雷射切割主要用於切割複雜的汽車零件,如車門 車身和發動機零件。它可以實現快速 準確的切割,並保證零件的質量和精度。此外,雷射切割還可用於製造汽車零部件的模具和模型...