四探頭電阻測試儀測量薄層材料的平方電阻時，探頭邊緣到材料邊緣的距離遠大於探頭間距，一般為10倍以上; 並且探頭之間的距離應相等，否則會產生相等比例的測試誤差。 秋山儀器四探頭電阻測試儀充分考慮了這些因素，秋山儀器四探頭電阻測試儀的探頭標準為： 探頭間距：100 mm；探頭材料：碳化鎢; 探頭壓力（可選）：5 7 N; 機械徘徊： < 03%；寶石軸承孔徑和探頭距離：< 6 m
平方電阻又稱膜電阻，是用來間接表徵真空鍍膜在薄膜鍍膜、玻璃鍍膜層等樣品上的熱紅外效能的測量值，該值的大小可直接轉換為熱紅外發射率。 平方電阻的大小與樣品大小無關，其單位為SIEMENTS SQ，然後加入歐姆SQ表徵方法，直接翻譯為平方電阻或表面電阻，用於薄膜測量，也稱為薄膜電阻。
對於薄層材料，通常使用薄層電阻（也稱為表面電阻）來表徵其電導率。 平方電阻定義為正方形中一層薄薄的導電材料相對兩側之間的電阻，如圖所示。
根據電阻的定義，
式中l為正方形邊的長度，a為正方形邊的面積，由於a=l·t，因此可以得到。
簡化。 
從上式可以看出，任何尺寸的方膜材料的平方電阻測量值都是一樣的，無論邊長是1公尺還是01公尺，它們的平方電阻是相同的，因為塊電阻只與導電膜的厚度和材料的電阻率有關。 塊電阻的測量值越大，熱紅外隔離效能越差，塊電阻的測量值越小，熱紅外隔離效能越好。
根據薄層材料的電阻率（參見文章薄層樣品的四探頭原理電阻率計算）。
得到平方電阻薄層的表示式。
LN的值2 約為 4532，即薄樣品的平方電阻與歐姆表顯示的電阻值之間的係數為4532。薄層的電阻率也可以由薄層的平方電阻和厚度推導出來，即。
從理論上講，探針尖端和導電膜之間的接觸點越小越好。 但是，在實際應用中，針狀電極容易破壞被測導電膜材料，因此一般採用圓形探針尖端。 秋山儀器四探頭電阻測試儀的探頭借鑑了機械鐘錶機芯的製造工藝，採用紅寶石軸承引導碳化鎢探頭，確保機械精度高，使用壽命長。