感測技術是現代科學技術的前沿技術，是人們研究的熱門領域之一，在國民經濟建設中占有極其重要的地位，感測技術水平是衡量乙個國家科技發展水平的重要指標之一。 開發高靈敏度、高選擇性、快速響應、重現性好、應用廣泛的新型生化感測器，在藥物分析、疾病診斷、食品衛生和環境監測等領域具有重要意義。
生化感測器是指對生化材料敏感的一類感測器，能將被檢測物質產生的生物或化學反應轉化為相應的光訊號、電訊號、熱訊號等，可以識別。 生化感測器一般由識別元件、轉換器和訊號放大裝置三部分組成[1]。 其工作原理如圖1所示，當敏感元素（抗原、抗體、核酸、糖、脂、蛋白質、組織、細胞、微生物等生物活性物質）與目標分子結合或相互作用時，其理化性質和引數會相應變化，如光強、顏色、質量、電荷、共振頻率等的變化，然後通過訊號轉換器轉換為電訊號或光訊號， 經過放大和處理後，最後訊號將以適當的視覺化形式顯示出來。從而達到分析檢測的目的。
圖1 生化感測器的組成和原理示意圖。
1962年，第一台用於檢測血液中葡萄糖的生化感測器問世[2]，此後又研製出大量不同型別的生化感測器，但只有少數能滿足商業應用的高可靠性要求。 近年來，微機電系統（MEMS）技術的出現為生化感測器的發展帶來了轉折點[3]。 MEMS是在微電子技術基礎上發展起來的尖端高新技術，通過將電子功能與機械、光學或其他功能相結合，已廣泛應用於農業、生物、醫學、資訊、自動控制、航空航天、軍事等領域[4]。 與傳統的機電系統技術相比，MEMS具有以下特點[5]：
1.小型化：MEMS器件體積小、重量輕、比表面積大、能耗低、慣量小、成本低，可批量生產。
2.整合：可以將多個具有不同功能和靈敏度的感測器整合到乙個中，形成乙個微感測器序列或微執行器陣列來完成特定的功能，並且可以將具有不同功能的裝置整合在一起，形成乙個強大的微系統。
3.以矽為主要材料，具有優良的機械和電氣效能：矽具有強度、硬度、重量輕、導熱性好等優點。
參考文獻： 1] 徐克軍， 馬秀水， 李曉林.感測器與檢測技術[M].北京： 電子工業出版社， 2008
2] clark l c jr, lyons c, electrode systems for continuous monitoring in cardiovascular surgery[j]. ann ny acad sci, 1962,102:29-45.
3] 劉光宇， 範尚春， 周浩民， 微機械與電子系統及其應用[M].北京： 北京航空航天大學出版社， 2003
4] 張東，關於MEMS發展趨勢與挑戰的思考[J].科技資訊發展與經濟， 2006， 24： 180-181
5] 馬強，李文石，朱震，MEMS研究現狀與進展[J].積體電路， 2004， 10： 57-61+21
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