EUV光刻機組裝難度大,挑戰技術極限!

Mondo 科技 更新 2024-03-05

"EUV光刻機難以組裝,挑戰技術極限"!

大家都知道,7nm級EUV光刻機是唯一可以生產7nm以上晶元的半導體器件,不允許銷往中國。

因此,中國很難實現7nm以下的工藝,要麼中國可以生產EUV光刻機,要麼就會另闢蹊徑,放棄光刻技術。

這麼多人認為中國不是最擅長抄襲的? 然後把EUV光刻機拆開,按原樣做乙個,不是嗎?

其實光刻機並不是那麼容易製造的,網上有一篇文章說,ASML的工程師告訴中國工程師,就算他們有光刻機的設計圖紙,也做不到。

這聽起來可能很離譜,但事實可能是這樣,即使我們拿到了EUV光刻機的藍圖,我們也未必能生產出來。

首先,極紫外光刻技術極其繁瑣,全球有5000多家廠家,共計45萬套零件。

這45萬個零件,按最小的不動零件,也就是300多萬個,其實是可以分解的。 而且大部分關鍵部件是無法模仿的,世界上只有一家公司可以生產。

此外,他們擁有ASML的專利,我們怎麼能複製蔡司鏡頭裝置? 5000**鏈條,300多個零件,我們自己生產,有什麼問題嗎? 這就是為什麼即使他們有圖紙,他們也做不到。

其次,EUV光刻機也難度很大,安裝除錯需要花費大量的時間和精力,現在市場上最大的EUV光刻機重達150萬磅,相當於15萬公斤。

ASML沒有將其分成幾部分,而是將其分成幾個部分,每個部分都裝入250個貨櫃中。

交付到指定地點後,ASML將安排250名裝配工程師過來,在180天內完成裝置的安裝除錯,這是非常高的技術和經驗。

事實上,即使ASML真的把藍圖交給了他們,他們也無法在短時間內做出合適的零件。 此外,還涉及很多技術問題。

所以,EUV光刻機的發展不簡單,我們一定不能毀了我們的聲譽,我們一定要有信心,但我們也要知道,這不是一件簡單的事情,我們必須有充分的意識,做好戰鬥的心理準備。

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