在過去的 20 年裡，RF MEMS（射頻微機電系統）開關一直是機電繼電器的替代品。 因此，通過提供易於使用的開關來徹底改變電子系統，該開關可以在幾兆赫茲到幾千兆赫茲的頻率範圍內以最小的損耗執行。 RF MEMS開關具有尺寸小、線性度好、插入損耗低、隔離度高、功耗極低等特點，是可攜式無線和低功耗電池供電系統的理想選擇。
總體而言，RF MEMS開關領域專利申請量的增加反映了人們對技術領域日益增長的興趣，以及未來幾年創新和增長的巨大機會。 隨著市場的不斷發展，公司必須緊跟最新的技術發展和智財權趨勢，以保持競爭力並利用新的增長機會。
RF-MEMS開關的連線型別可以是電容式的，也可以是金屬對金屬的。 電容式開關比金屬對金屬型更好，因為它們能夠以更高的頻率和功率傳輸訊號。 射頻MEMS開關使用微機電結構來控制射頻訊號的流動。 圖中顯示了具有獨特彈簧設計的RF MEMS併聯電容器開關。
通常，該結構由懸掛在固定金屬板上的移動金屬板或樑組成。 在閉合狀態下，由於存在薄的介電層，光束不會粘附在傳輸線上，並且很容易釋放。 當向結構提供電壓時，可移動板向固定板滑動，形成乙個接觸點（導通狀態），允許射頻訊號流過。 當電壓關閉時，可移動板返回其初始位置，斷開觸點，並停止射頻通訊。
ADI在MEMS領域有著悠久的歷史。 ADI ADXL50加速度計於2024年推出，是全球首款成功開發、製造和商業化的MEMS加速度計器件。 2024年，ADI公司推出了首款整合式MEMS陀螺儀ADXRS150。
憑藉這些不起眼的開端，ADI公司已經建立了乙個規模龐大的MEMS產品行業，並在生產高質量、可靠的MEMS產品方面享有無與倫比的聲譽。 對於汽車、工業和消費類應用，ADI公司有超過10億個慣性感測器可用。 這一傳統為推動MEMS開關技術的實現提供了知識和信念。 該ADGM1304是由ADI公司設計的廣泛使用的整合式RF MEMS開關。 它專為需要高效能射頻開關的應用而設計，包括無線通訊、雷達系統、測試和測量裝置、航空航天和國防以及醫療裝置。
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