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1.上海微電子.
是國內領先的設計和整合光刻機製造商，也是半導體裝置領域的龍頭企業。
在前端領域，光刻機已經能夠滿足90、110、280nm的關鍵層。
在後端領域，光刻機應用於8英吋和12英吋積體電路的先進封裝領域，可滿足先進封裝技術的晶圓級光刻工藝需求，目前已製造出首批2臺5D 3D先進封裝測試光刻機。
2.華卓景科.
是國內首家自主研發並實現直線電機光刻機雙工件工作台商業化生產的企業，上海微電子首家雙工作台產品及技術開發業務。
針對國內高階IC前端光刻機的需求，我們推出了DWS和DWSI兩大系列雙工件工作台，可根據客戶定製需求提供技術開發服務和產品。
3.科易巨集源.
國內稀缺的具有光刻準分子雷射技術研發能力的企業。
業務包括國產自主研發光刻光源產品的銷售和技術服務、進口高階光源技術服務、積體電路檢測光源、特種高壓電源、高階光源核心元器件等產品。 主要產品有DUV（深紫外）光刻光源系列。
4.蘇達·維格。
國內領先的微納結構產品及技術服務製造商。
自主研發的雷射直寫光刻機和奈米壓印光刻機。
在光刻機關鍵部件方面，上海微電子為半導體領域的投影光刻機提供了定位光柵部件。
5.晶方科技.
是國內領先的專業封裝測試製造商，核心技術為晶圓級光學元件技術。 通過子公司收購ASML核心龍頭商戶之一Anteryoon，布局光刻機相關業務。
Anteryoon是世界領先的光刻機ASML的核心供應商之一。 Anteryon可以將複製技術應用於晶圓級元件，在玻璃或矽晶圓上實現光學結構，堆疊各種晶圓和墊片，並將孔徑或電子元件等功能整合到層中，從而實現複雜光學元件的大批量、低成本生產。
6.新來應該是物質的。
針對半導體核心裝置，提供真空閥、管件、反應室、氣瓶等多種零部件。
先後與AMAT、Ram Research、北方華創、中國微半導體等全球知名半導體裝置製造商及國內知名半導體裝置製造商合作。
與終端客戶合作，如台積電、英特爾、三星、長江儲存、惠科等。
7.騰晶科技.
產品主要應用於光通訊、光纖雷射器等領域。
與光通訊領域的Lumentum、Finisar、華為等，光纖雷射器領域的睿科雷射、NLIGHT等下游企業和科研機構建立了合作關係。
研究專案“分束器專案”的相關產品應用於光刻機的光學系統，是為客戶定製的產品開發專案，在光學鍍膜的設計製造過程中，應用技術在光學光電精密製造領域深耕多年， 光學精密加工、玻璃非球面成型和光纖器件。進度約為 302%
8.ML光學。
國內領先的精密光學解決方案提供商，產品是光刻機的重要光學元件，覆蓋深紫外DUV、可見光和遠紅外的全光譜。
產品主要包括精密光學器件、光學鏡頭和光學系統，廣泛應用於半導體（包括光刻機和半導體測試裝置）、生命科學、航空航天、無人駕駛、生物識別、AR VR檢測等領域。
為Camtek、KLA等全球知名半導體測試裝置製造商提供半導體測試光模組，並與Camtek、KLA、上海微電子等多家全球領先企業達成長期戰略合作夥伴關係。
9.聚焦光。
主要從事高功率半導體雷射器元器件及原材料的研發、生產和銷售。 光場均質機和廣角均質擴散器的生產是光刻機製造中的重要部件。
目前，正在積極拓展光子產業鏈中游的光子應用模組、模組和子系統業務，重點關注汽車應用、泛半導體工藝、醫療健康等領域。
10.富雄科技.
主要從事非線性光學晶體、雷射晶體、精密光學元件和雷射器件的研發、生產和銷售，同時也為光刻機的生產製造提供重要部件。
KBBF晶體是一種非線性光學晶體，可直接將頻率加倍產生EUV雷射器，應用於超高光學解像度光電子能譜儀、光刻技術等前沿領域。
11.富光股份。
主要產品有光學鏡頭、光學元件、光電儀器、光學電子產品等，特種光學鏡頭和光電系統廣泛應用於光刻機等高階裝置。
12.美埃技術。
國內空氣淨化行業領先供應商。 開發的EFU（自帶風扇過濾單元的超薄裝置）和ULPA（超高效過濾器）等產品為光刻裝置所需的高潔淨環境提供了解決方案。
目前擁有國內生產基地7個，海外生產基地1個，生產廠房面積50000多平方公尺。
13.青億光電.
生產平板顯示器、半導體晶元等行業的掩模。
已量產250nm工藝節點半導體晶元的6英吋和8英吋掩膜板，主要應用於IGBT、MOSFET、碳化矽和MEMS應用。
我們正在開發用於130nm-65nm半導體晶元的掩模工藝開發和用於28nm節點的掩模工藝。
與株洲半導體、三安整合、安康、士蘭微電子、泰科天潤、上海先進、華微電子、方正微電子、中芯國際、賽威電子、長電科技等國內重點企業建立了深度合作關係。
14.魯維光電.
國內稀缺可覆蓋g25-G11是全代口罩產能的領先供應商。
它已經有 g25-G11全代口罩的產能可以與各代平板顯示器廠商相匹配。
實現了180nm及以上工藝節點半導體掩膜的量產，並取得了150nm工藝節點半導體掩模製造的關鍵核心技術，可滿足國內先進半導體封裝和半導體器件的應用需求。
15.鑫琪微包裝。
是國內直寫光刻裝置的龍頭企業，深耕泛半導體直寫光刻裝置。
深化與生益電子、盛虹科技、定穎電子、滬電股份等客戶的合作，新增鵬鼎控股新客戶訂單，在柔性板、類基板、阻焊層等細分市場表現良好。
在IC載板領域，MAS6系列最小線寬為6m，載板裝置於2024年11月成功銷往日本市場。
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