德國Vistec電子束光刻系統在光刻領域的應用

德國Vistec電子束光刻系統在光刻領域的應用。

生物晶元製造：Vistec的光刻技術可用於生物晶元的製造。 生物晶元是一種整合了生物分子識別元件的微晶元，用於生物分析、醫學診斷和藥物發現等領域。 Vistec的系統能夠製造微公尺級生物晶元結構，用於固相合成、生物分子檢測和細胞分析等應用。

微納加工：Vistec的光刻技術廣泛應用於微納加工領域。 它可以製造微奈米尺度的結構和器件，用於奈米科學、奈米技術和微納電子學等領域的研究和應用。 這些結構和器件包括奈米線、奈米晶格、奈米孔等，對新型奈米材料和奈米器件的開發具有重要意義。

MEMS製造：Vistec的光刻技術在微機電系統（MEMS）製造中也有應用。 它可以製造微公尺級的機械結構和感測器，用於製造慣性感測器、壓力感測器、加速度計等MEMS器件。 這些器件在汽車、消費電子、醫療裝置等領域有著廣泛的應用。