據日本報道,佳能針對半導體電路光刻工藝推出了自主研發的奈米壓印技術,該技術可大幅降低成本和耗電,這是半導體廠商高度期待的,目前可生產2nm產品。
據佳能半導體裝置業務總監岩本一德介紹,奈米壓印是將半導體電路圖的掩模壓印在晶圓上,只需在晶圓上壓印一次,就可以在合適的位置形成複雜的二維或三維電路,如果對掩模進行改進,甚至可以生產出2nm的產品。
奈米壓印的特點是裝置結構簡單,與傳統的雕刻電路方法相比,奈米壓印的功耗可以降低到1:10,裝置會便宜很多。 據估計,單次奈米壓印光刻工藝的成本可以降低到傳統光刻裝置的一半。
岩本一德還介紹,2024年佳能與鎧俠、大日本印刷合作開發,奈米壓印技術在量產方面的實際應用已經備受矚目,可以賣給客戶。
2024年前後,日本和尼康佔據了世界光刻裝置市場的很大一部分,但隨著荷蘭SAML公司開發EUV光刻裝置,市場立即重新洗牌,EUV成為尖端半導體光刻的主流,佳能也失去了大部分市場。
現在,佳能已經磨練了十年的劍,推出了奈米壓印技術,有一種重新奪回光刻市場的立場。 不過,ASML也向英特爾交付了第一台2nm EUV光刻機,短期內,佳能希望依靠奈米壓印技術來對抗ASML,可能希望不大。
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