RTP（快速熱處理）爐通常用於半導體製造和其他高溫加工工藝。 在這些過程中，氧含量是乙個關鍵引數，因為它會影響材料的效能。 監測RTP快速退火爐中的氧含量通常涉及使用專門的儀器和技術。
MicroX-223 氧氣分析儀是一種高精度儀器，專門設計用於測量氣體中的氧含量，非常適合監測 RTP 快速退火爐上的氧氣含量。 該分析儀將先進技術與可靠的測量原理相結合，可在高溫和惡劣的工業環境中提供準確、快速的氧含量資料。
特徵：
測量範圍：1ppm-25 o2
可靠氧化鋯感測器科技。
適用於惡劣環境。
快速響應。 DIN導軌安裝。
LCD顯示屏和4個多功能按鈕。
4-20mA訊號輸出。
RS-232通訊協議。
24VDC電源。
3組繼電器報警。
m18x1.5.螺紋工藝介面。
以下是使用 MicroX-223 氧氣分析儀監測 RTP 快速退火爐氧氣含量的步驟和注意事項：
安裝和校準
將 MicroX-223 氧氣分析儀安裝在 RTP 快速退火爐的適當位置，以確保感測器能夠準確接觸爐內的氣體。
安裝前校準分析儀以確保其測量的準確性。 校準通常包括零點校準和量程校準。
整合到控制系統中
MicroX-223 氧分析儀與 RTP 退火爐的控制系統整合在一起，可實時傳輸和顯示氧含量資料。
通過控制系統，可以設定報警閾值，當氧氣含量超過或低於預設值時，系統會自動發出報警，以便操作人員及時採取對策。
實時監控和資料記錄
在RTP退火爐執行過程中，MicroX-223氧氣分析儀實時監測爐內的氧含量，並將資料實時傳輸到控制系統。
控制系統可以自動記錄氧氣含量的歷史資料，並生成報告或趨勢圖，以便後續分析和優化工藝引數。
維護和校準
MicroX-223氧氣分析儀定期維護和校準，以確保長期穩定執行和測量精度。
根據使用情況和製造商的建議定期更換感測器和耗材。
培訓和操作
對操作員進行有關 MicroX-223 氧氣分析儀的基礎知識、操作方法和維護要求的培訓。
操作人員應熟悉控制系統的介面和功能，能夠正確解讀氧含量資料，並根據需要調整工藝引數。
通過使用MicroX-223氧氣分析儀，可以準確、實時地監測RTP快速退火爐的氧氣含量，從而確保產品質量和生產安全。 同時，通過對歷史資料的分析和處理，可以優化工藝引數，提高生產效率，降低成本。