目前,長壽命坩堝主要表現在控制坩堝透明層中微氣泡的含量,氣泡(氣液夾雜物)主要由結晶水和氣體組成,氣體的成分主要是CO2、H2O、H2O2、N2、CH4和CO。 如果坩堝內層微氣泡較多,晶體在高溫下會膨脹,內層會破裂,顆粒會進入矽液,導致矽棒斷裂邊緣,影響拉晶的結晶速度同時,氣體在矽液形成的後期進入矽片的空穴,導致報廢。
由於晶體生長的環境和機理不同,石英中氣液包裹體的數量、分布和組成都會有很大的差異。 石英中夾雜物有初級、假次生和次生三種不同型別的夾雜物,由於這三種夾雜物性質的差異,在目前的選礦提純過程中,這三種夾雜物的去除效果也大不相同。
初級夾雜物是隨著石英晶體的生長而形成的,並存在於石英晶體的結晶表面,因此初級夾雜物很難通過現有的純化工藝去除。 次生夾雜物相對容易去除,因為它們是在石英晶體結晶後形成的,主要分布在石英晶粒的斷裂癒合部位。
微氣泡的形成方式有三種:一種是石英顆粒間隙之間的空氣一種是石英中的氣液夾雜物;一是羥基在高溫下結合成水。 如果坩堝的熔化工藝比較好,可以抽出石英縫隙之間的空氣,但是如果石英本身的氣液夾雜物和羥基含量比較高,因為這些夾雜物通常位於石英晶體內部,而且它們的大部分體積都很小(微公尺級),那麼熔化過程就很難達到很好的效果。
目前,石英砂中氣液夾雜物的去除方法主要有幾種:
高溫氯化脫氣法:將石英砂加熱到1000-1200,在高溫條件下通入CL2和HCl氣體,該方法是利用Cl2和雜質離子在高溫條件下進行反應,反應產生的氣態鹽可以從石英晶體微裂紋中排出,達到淨化的效果, 並且這種方法對石英中的羥基有一定的去除作用。2024年,美國Unimin公司採用高溫氯化脫氣法製備高純石英砂,去除氣液夾雜物,其IOTA系列高純石英砂質量處於世界絕對領先水平。
差菌腐蝕法:在酸或鹼的腐蝕下,石英晶體和氣液夾雜物具有不同的腐蝕速率,以達到去除氣液夾雜物的目的。 該處理工藝可有效去除石英礦石中的氣液夾雜物,有的可接近四級晶體的氣液夾雜物含量標準,但當石英中的氣液夾雜物去除到一定程度時,差值強度會不斷增加,去除效果不再明顯。
熱爆或冷爆法:當石英處於高溫條件下時,石英基體與氣液夾雜物之間的介面產生很大的壓差,使氣液夾雜物爆裂,然後清洗工藝可以達到去除氣液夾雜物的效果。 在高溫下,石英中的氣液夾雜物會因相變而破裂,爆裂後的酸洗工藝可以有效去除氣液夾雜物。 在極冷條件下,石英中氣液夾雜物的去除效果與氣液夾雜物本身的形狀和大小有關,一些較大的氣液夾雜物容易爆裂和被去除,但小的氣液夾雜物則難以去除。
機械破碎法:石英中氣液夾雜物的尺寸約為1-50μm,理論上,只要石英礦石破碎得足夠細,石英基體裂縫之間的大部分氣液夾雜物都可以去除。 高壓電破碎等高科技破碎方法,可以更容易地去除石英裂縫中的氣液夾雜物。
微波法:利用微波選擇性加熱特性去除石英礦石中的氣液包裹體。 微波是一種交變電磁波,具有選擇性加熱、體積加熱、加熱效率高、能夠在幾分鐘內將高介電常數物質加熱幾千度等獨特特性。 這些特性在去除具有不同介電常數的雜質方面具有獨特的優勢。
目前,採用低氣泡密度的高純石英砂作為石英坩堝的內層,可以有效減少內表面的氣泡破裂現象,並保證長期的拉晶(如多次重新進料)。
文章**: 揚州萊迪思半導體***
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2024第二屆安徽國際石英產業大會暨展覽會將於5月8日至10日在合肥舉行。