ASML末日狂歡EUV光刻機或將難以擁有下一代產品,前景令人擔憂

Mondo 科技 更新 2024-02-26

ASML末日狂歡:EUV光刻機或許難以擁有下一代產品,前景令人擔憂。

2023年對ASML來說是瘋狂的一年,光刻機銷售額為276億歐元,同比增長30%,淨利潤為78億歐元,同比增長43%,毛利率為513%。

2023年,ASML銷售EUV光刻機53臺,浸沒式DUV光刻機125臺,普通乾式DUV光刻機32臺,KRIF光刻機184臺,L-Line光刻機55臺,各型別光刻機銷量均超過2022年。

而對於2024年,ASML並不樂觀,稱其預期與2023年大致相同。

事實上,2024 年應該是 ASML 大幅增長的一年,那麼為什麼不更多呢? 究其原因,ASML的EUV光刻技術已經到了極限,很難擁有下一代,前進的道路被堵住了。

目前,ASML最大的收入**實際上是EUV光刻機。 以 2023 年為例,53 臺 EUV 光刻機,每台價值約 18億元,貢獻近100億元,佔三分之一。

目前銷售的主要EUV光刻機為NA=033 臺機器。 Na 也稱為數值孔徑,也稱為低 Na 系統,因為 033 是乙個低數值孔徑。

光刻機能夠實現 26 奈米的最小金屬間距和 25-30 奈米的端到端近似互連空間間距,理想情況下能夠製造 3 奈米晶圓。

na=0.55光刻技術具有更大的數值孔徑(稱為HiGT-NA系統),可實現16奈米的最小金屬間距,從而實現亞2奈米甚至1奈米的工藝節點。

但是,這台光刻機的 na=055、成本高,達到38億元,比上一代**翻了一番,同時,ASML表示,目前的產能還很差,一年只能生產不到10臺,所以ASML對此並不是特別看好,畢竟目前的光刻機033Na,也可以生產2nm晶元。

只有2家3nm晶元廠,原來的EUV光刻機都不會被淘汰,現在NA=055的光刻機肯定賣得不是特別好,所以對2024年不是很看好,如果能保持2023年的營收就好了。

事實上,ASML最大的問題還沒有到來,因為當NA增加到0時在55時,數值孔徑達到極限,無法進一步增加。

至於其他提高紫外光刻解像度的方向,如降低光源波長、提高光刻工藝係數等,基本已經達到極限,短期內無法改進。

因此,去年,ASML負責該技術的聯席CEO表示,ASML很難在EUV光刻技術上取得任何進展,即NA=055 的 EUV 光刻可能是最後一代,將於 2024 年退役。

因此,當EUV光刻機無法再公升級時,ASML就在那裡"計算日期"也許現在可以賣掉,但未來呢?

當然,也有人認為,或許EUV光刻技術還能往前走,只是目前看不清方向,但缺乏方向是企業最大的不確定性,沒有確定就沒有未來,企業該怎麼辦?

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