ASML最新推出的EUV光刻機，價值27億元，重量150噸

鯤鵬專案

ASML最新推出的EUV光刻機問世：價值27億元，重150噸，需要250人180天才能安裝。

眾所周知，ASML是世界上唯一一家有能力製造極紫外光刻技術的公司。

ASML推出的光刻機都是0中的尺寸33臺左右的光刻裝置，即小口徑的光刻機，稱為小尺寸光刻機。

而低於 3 nm，即 2 nm、1在 4 nm 和 1 nm 處，使用高數字孔徑光刻裝置，即 na=055，對應於 exe：5200。

不久前，ASML為英特爾提供了世界上第一款名為EXE：5200的高數字孔徑光刻裝置。

這是什麼可怕的裝置？ 首先，它達到了3.5億歐元。 它的大小與普通公共汽車差不多，總質量為150噸。

這種光刻裝置組裝完成後是無法攜帶的，需要拆解成零件並傳送給使用者才能組裝。

運輸過程中共使用了250個貨櫃，運輸過程中動員了250名工程師，又花了六個月的時間組裝和除錯所有部件。

結果，ASML將世界上第一台EUV光刻機賣給了英特爾，但那只是第一次送到英特爾，距離實際投入使用還有六個月的時間。

根據英特爾的計畫，2奈米工藝至少要到2025年才能投入使用。

ASML的CEO曾經說過，這個數字的口徑將是055 或更多一段時間，因為 ASML 不再足以滿足當前的需求。

如今，EUV光刻機有三種主要方法可以提高其解像度，第一種是降低發光波長，但是，在135 nm，這是它的最大極限，不可能繼續下降。 二是增加數值口徑，但這一步卡在那裡，ASML告訴他，這個數值口徑已經達到上限，不能增加。

另乙個是提高光刻效率，但現在技術已經到了生理學的極致，沒有辦法再往前走了。

短期內，三方均已死，說明EUV的精度不能再進一步提公升，未來EUV將何去何從？沒人知道。

那麼，佳能的NIL等產品未來能否取代EUV光刻機，走上世界發展之路呢？