前段時間有報道稱,英特爾已經獲得了ASML最新的2nm晶元EUV光刻機。
這種EUV光刻機型號稱為EXE:5200,與之前的EUV光刻機相比,最大的變化是數值孔徑NA,從033,成為當前的 055。
新的EUV光刻機稱為高數值孔徑系統,而以前的光刻機稱為低數值孔徑系統。
ASML之前曾說過,當NA提公升到0時55歲以後,現在基本不可能改進,所以ASML認為,這台光刻機可能是最後一代EUV光刻機,ASML本身對未來能否改進沒有信心。
這種光刻機可用於製造2nm及以下的晶元,因為NA越高,解像度越高,工藝越低,據說至少可以實現1nm以下晶元的製造。
這個 na=0重達150噸(150,000公斤)的55光刻機在運輸時需要250個貨櫃箱,同時,拆卸運輸到目的地後,需要250名工人進行6個月(180天)的安裝除錯才能完全安裝。
目前,台積電和三星已經實現了3nm工藝,按照計畫,兩家晶圓廠將在2025年實現2nm工藝,而英特爾則表示將在2024年實現2nm工藝。
因此,毫無疑問,這款新一代EUV光刻機將再次被幾大晶圓廠搶購,因為大家都想在2nm時間搶占先機,搶占更多產能,成為晶圓製造的老大。
所以最近,ASML表示,它已經收到了來自幾個主要客戶的新型EUV光刻機的訂單,數量約為20臺。 未來,它的目標是每年能夠生產 20 臺這樣的光刻系統。
而這種光刻機,乙個**大約是38億美元,20個單位是76億美元,也就是540億元人民幣。 而上一代EUV光刻機只有1台約8億美元。
與上一代光刻機相比,每台高出2億美元,20台為40億美元,相當於290億元人民幣。
2017年,美國就明確禁止ASML向中國大陸出售EUV光刻機,即使是最老的EUV光刻機也不能賣給中國大陸,所以無論ASML技術多麼先進,我們都要靠自己,獨立做出來......