目前,在晶元製造領域,光刻工藝是幾乎所有晶圓廠都採用的工藝,尤其是在相對先進的工藝中,即全是光刻工藝。
在光刻工藝下,光刻機、蝕刻機是必不可少的,其中光刻機是最重要的,由於其門檻高、研發難度大、鏈條複雜,是所有晶元製造裝置中裝置最多的。
更何況,世界上只有四家廠家能夠生產光刻機,只有ASML能夠生產7nm及以下晶元的EUV光刻機。
可以說,任何一家光刻機廠都很難製造出EUV光刻機,ASML已經將所有的上下游都綁在了自己的軍艦上。
因此,其他光刻機廠家,近年來基本上都繞過了EUV技術,尋找其他技術來實現與EUV光刻機相同的功能。
其中,有幾種技術大家也非常熟悉,分別是NIL奈米壓印技術、BLE電子束技術、X射線技術、DSA自生長技術。
這四種技術被認為是最有可能繞過EUV封鎖,實現7nm及以下技術方向的技術。
其中,NIL奈米壓印技術進步最快,日本光刻機製造商佳能幾年前與SK海力士合作推出了用於儲存晶元的NIL奈米壓印機,但它被用於65nm這樣的工藝。
而去年,佳能發布了最新的奈米壓印半導體器件FPA-1200NZ2C,稱它可以用於製造5nm晶元,而無需使用EUV。
近日,佳能再次表示,這款奈米壓印機FPA-1200NZ2C將於今年量產,這款奈米壓印機的成本僅為EUV的10%左右,功耗僅為EUV技術的10%。
同時,使用奈米壓印機後,其配套裝置,與EUV配套裝置相比,降低了40%。
佳能還表示,該裝置未來將繼續公升級,到2026年,有望用於製造2nm晶元,完全繞過EUV光刻機解決方案。
當然,由於這款奈米壓印機FPA-1200NZ2C還沒有完全量產,不知道佳能是在吹牛,還是真的好。
同時,有業內人士表示,奈米壓印技術的良率估計低於EUV,產能和效率將遠低於EUV解決方案,因此不太適合大規模晶元製造行業,更適合小批量晶元生產。
然而,不可否認的是,如果佳能的技術完全量產,將對EUV光刻機產生巨大影響,成為真正的顛覆者。
因為禁令,我們目前肯定買不到,但至少也給了我們乙個新的學習方向,也許接下來,我們不必死在EUV技術上,你怎麼看?