如果不吹還是黑,光刻機就無法突破28nm拯救中國半導體,行業困境亟待解決
根據命名法,只有EUV光刻機和DUV光刻機,其中DUV分為ARFI浸沒式光刻機、ARF乾式光刻機、KRF光刻機、I線光刻機、G線光刻機。
這些光刻技術對應不同的工藝,目前還沒有90nm、28nm、7nm等光刻技術。
但前段時間,總有訊息說國產28nm光刻機要來了,所以搞不清它屬於哪一種28nm光刻機我想一定是浸沒式光刻機之一,為什麼是28奈米?這個28nm是指28nm的最高工藝,還是指解像度?
如果你指的是最高的工藝,那麼浸沒式光刻機出來的 28 nm 不應該是最高的 7 nm,而平均 ARF 乾法是最高的整體 65 nm?
所以,如果你指的是解像度,如下圖所示,ASML的NXT:1980DI浸沒式光刻的解像度為38奈米,但可以生產7奈米的晶元,那麼這個28奈米的解像度不是更先進嗎?
所以我有點困惑,對這種28nm光刻技術感到困惑,到底是怎麼回事。
另外值得一提的是,很多人總覺得有了這台光刻機,國產晶元就省了,也就不再怕被扼殺了,我覺得這也是值得商榷的,在我看來,光是光刻機的進步並不能挽救中國的半導體。
製造晶元需要上百臺半導體裝置,而光刻機只是生產線上的主要裝置之一,其他裝置的國產替代同樣重要。
這是一張網路圖,顯示了目前國際先進水平與國內先進水平之間幾個關鍵裝備的差距。
我們一眼就知道,目前國內的關鍵裝置差不多是14奈米,光刻機是90奈米,非公開的就是28奈米,中間還有很短的距離。
除了這些器件之外,在晶元製造過程中還需要數十或數百種材料,例如光刻膠、靶材、特殊氣體等,其中一些只能在日本製造,例如EUV光刻膠。
你看,這不是光刻工藝嗎?它是許多與光刻膠材料同樣重要的東西的組合,而光刻膠材料只是其中的一部分。
說實話,目前美帝國主義如果只靠自己的努力,是拿不出14奈米晶元的,必須整合全球**鏈。
不僅要投資半導體裝置和材料企業,更要想辦法讓下游企業有動力使用國產晶圓,讓晶圓企業有動力購買國產裝置和材料。