三星電子正在開發自己的“智慧型感測器系統”,用於控制和管理半導體工藝。 這項新技術有望提高半導體良率和生產率。
據ETNews報道,三星電子已經開始研發智慧型感測器系統,預計未來將應用於無人駕駛和人工智慧半導體製造工藝。 據報道,該專案正在與相關夥伴和學術界合作進行。
準確測量和管理等離子體條件被認為是半導體生產過程中最重要的任務之一,因為只有在半導體製造過程中精確控制等離子體的均勻性和密度,才能提高半導體良率和良率。
“智慧型感測器系統”可用於測量晶圓等離子體的均勻性,並準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝效能,有望提高生產率。
三星現有的晶圓智慧型感測器大多是從國外廠商那裡採購的,成本很高。 最近,鑑於對提高產量和生產力的需求飆公升,三星選擇轉向內部研發,以減少對外國感測器的依賴。
據報道,三星電子正在開發一種超小型智慧型感測器系統,該系統不會占用現有裝置太多空間,因此可以提高空間利用率。 三星計畫逐步擴大智慧型感測器的應用,不僅僅是等離子體,還開發可用於各種半導體工藝的智慧型感測器和系統。
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