目前,世界上唯一可以製造EUV光刻機的製造商是荷蘭的ASML。
晶元進入7nm後,需要使用EUV光刻機,所以這幾年,台積電、三星、英特爾等廠商都在嘗試從ASML購買EUV光刻機。
誰搶到更多的EUV光刻機,誰的產能就會更高,所以接下來訂單的產能基本穩定。
上乙個當然是台積電,它顯示,自ASML生產EUV光刻機以來,截至2023年底,共出貨了230多台EUV光刻機。
在230多台EUV光刻機中,僅台積電就佔了50%以上,其他廠商加起來還不到50%,可見台積電的實力有多強。
然而,最近幾天情況可能發生了變化,因為ASML最先進的EUV光刻機,用於2nm晶元製造的Twinscan EXE:5200,是由ASML交付給英特爾的,而不是台積電。
這個 exe:5200 和之前的 exe:5000 最大的區別在於數值孔徑不同,從 033NA增加到055NA,數值孔徑表示系統可以收集和聚焦多少光,數值孔徑越大,收集的光越多,解像度越高。 所以 055Na數值孔徑光刻機可用於2nm甚至14nm晶元光刻。
此前,ASML的首席執行官表示,在0在55NA之後,也就是NXE:5200之後,ASML可能無法推出新一代的EUV光刻機,而這項技術已經達到了極限。
這個NXE:5200的**約3億美元,約合人民幣21元5億元,晶圓加工速度是每小時220片12英吋晶圓,一塊晶圓可以切割,其次是500顆左右的2nm晶元,理論上這樣的光刻機,一年可以加工上億個晶元。
ASML交給了英特爾,而不是台積電,有人說很可能是台積電目前不需要它,英特爾更需要它,但我認為這個理由不應該成立,台積電肯定需要它。
很有可能是英特爾背後的美國在施壓,畢竟美國現在想要重振晶元製造產業,而英特爾正在提出IDM20計畫,要想分一杯羹晶元代工,ASML必須聽美國的話,給誰不給誰,ASML不算,美國說了算。
英特爾此前吹噓將在2024年獲得20A工藝,也就是2nm,而台積電要到2025年才能獲得2nm,所以英特爾想搶占先機,於是搶到了第一台2nm光刻機。
接下來,台積電要加油了,如果真的在2nm上被英特爾搶占,那麼全球晶元代工格局或許被改寫。