光刻機概念。
光刻機又稱掩模對位機、第一系統、光刻系統等,是製造晶元的核心裝置。 它使用類似於印刷的技術,通過光線將掩模上的精細圖形列印到矽晶圓上。
光刻機的型別可分為:接觸式**、接近式**、投影式**。 光刻機的工作原理是通過一系列光源能量和形狀控制裝置,將光束通過帶有電路圖的掩模傳輸。
光刻機概述讀趨勢。
表:光刻機的歷史。
目前國內光刻機技術最先進的是上海微電子裝置),量產光刻機效能最好的是可用於加工90nm晶元的光刻機,與國外技術差距較大。
2008年,32-22NMEUV光刻技術被列為重要研究任務,2016年11月,長春光學機械研究所牽頭的國家科技重大專項02專項——“極紫外光刻關鍵技術研究”專案順利完成驗收前的現場測試,初步建立了加工、 適合極紫外光刻光學系統開發的測試、鍍膜和系統整合平台,為我國光刻技術的可持續發展奠定了堅實的基礎。
中國目前擁有90奈米光刻機,下一步技術是45奈米。 此外,光刻機用固態深紫外光源、電子束直寫光刻機、奈米壓印裝置、極紫外光刻機技術也在開發中。
相應的公升級版光刻膠、第三代折射液等也在相應開發中。 光刻機工件工作台是光刻機技術的難點之一,我國在這一領域取得了重大突破。
然而,我國仍需在雷射光源和反射鏡組方面取得突破,這也是我國光刻機領域瓶頸困境的關鍵。
關注列表。
1. 張江高新技術(SH600895)。
現購: 2242、總市值:34722億。
主營業務:航天航母建造、招商引資、產業投資。
核心競爭力:具有可持續物理空間的優勢。
2. 旭光電子 (SH600353).
現價: 809、總市值:6737億。
主營業務:金屬陶瓷電真空裝置。
核心競爭力:品牌優勢。
3.惠創達(SZ300909)。
現價: 2348、總市值:4061億。
主營業務:研發、設計、生產、銷售導光結構件、精密關鍵開關結構件及零部件。
核心競爭力:研發和技術優勢。
4. 中國航空電子 (SZ300114).
現價: 4350、總市值:25698億。
主營業務:相關儀器製造。
核心競爭力:行業領先。
5.華亞智慧型(SZ003043)。
現價: 4020、總市值:3216億。
主營業務:精密金屬製造 熱機計畫 核心競爭力:提供專業的精密金屬製造解決方案。
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