金健提供頁岩樣品的氬離子拋光切割服務（離子拋光CP）+高解像度場發射掃瞄電子顯微鏡SEM觀察。 金劍實驗室的氬離子拋光（CP法拋光）可以獲得光滑的截面，而不會對樣品造成機械損傷。 下面是乙個案例研究。
平面蝕刻和拋光功能。
左圖顯示了機械研磨和拋光對樣品造成的應力損傷可以通過離子研磨去除，從右圖可以清楚地看到兩種不同銅的結構。
平面蝕刻和拋光功能。
通過控制平面研磨時間，可以獲得有關樣品的更詳細的資訊。
package fa
results of experiment
sem parameter：
accelerating voltage: 1kv magnification: 600x imaging mode: back-scattered electron
package：fa ，cooling stage
sem parameter：
accelerating voltage: 1kv magnification: 2,500x imaging mode: back-scattered electron
package：fa ，cooling stage
sem parameter：
accelerating voltage: 1kv magnification: 5,000x imaging mode: back-scattered electron
package：fa ，cooling stage
sem parameter：
accelerating voltage: 1kv magnification: 10,000x imaging mode: back-scattered electron
package：fa；cooling stage
pcb board：cooling stage
die package application
results
high mag
pcb with osp layer
low mag
pcb with osp layer
high mag
tsvcentral tsv
center tsv near middle of length
low k material
離散器件。 high mag
high mag
cu wire with pdcoating
2.5d interposer
gatanresults polished width at roi ~ 1000um
high mag
bse image “left via”
se image region 9 bse image region #
bse image region #
bse image “right via”
金屬鍍層。 鍍鋅鋼板。
鍍鋅鋼板 - 高磁